罗茨真空泵具有二个三叶型转子,通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动,右图为转子在泵腔内旋转120,完结一次吸、排气的进程。三叶转子选用渐开线型线,滚动时相互不触摸并坚持安稳空隙。可与多种前级泵配套,选用风冷或水冷方法和多种密封方式,满意多种工艺和工况要求。
比传统二叶型罗茨泵在抽气功率、***大答应压差、温升、振荡、噪声等关键功能指标上都有着十分显着的技术优势。三叶转子选用高精度齿轮传动和精细轴承支承,噪声低、工作愈加平稳,在低进口压力下仍具有较大抽气速率。
三叶罗茨真空泵不能独自运用,有必要与前级真空泵配套运用,装备不同类别的前级泵后,罗茨真空泵各项功能指标会有所不同。罗茨真空泵首要运用在于需求大抽速和粗、中线Pa)的真空体系,例如真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模仿实验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制作、真空包装、会集抽气体系、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干噪、真空蒸馏。
注:上表各功能是在配用引荐前级泵的条件下取得的,若视状况选用不同的前级泵,其首要功能指标会有所改变。抽气速率系指在配用引荐前级泵的条件下,罗茨线pa范围内所测得的***大抽气速率。(见功能曲线)极限压力系指在配用引荐前级泵的条件下,不带任何附加容器、泵口密闭不进气,通过充沛抽气后用紧缩式真空计在泵进气口处测得的安稳的空气分压力的***低值。
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